超聲波一方面破壞污物與淸洗件表面的吸附，另一方面能引起污物層的疲勞破壞而被剝離，氣體型氣泡的振動對固體表面進行擦洗，污層一旦有縫可鉆，氣泡立即鉆入振動使污層脫落，由此可見，凡是液體能浸到且聲場存在的地方都有淸洗作用，其特點適用于表面形狀非常復雜的零件的淸洗。尤其是采用這一技術后，可減少化學溶劑的用量，從而大大降低環境污染。